南京芯片制造车间忌水渍与药剂污染？洁净惰性气体灭火防护方案

南京集成电路产业园集聚多家芯片制造、晶圆加工、封装测试企业，洁净生产车间、光刻区域、刻蚀工段、精密仪器间常年维持 ISO1～8 级洁净环境，内部布设光刻机、薄膜沉积设备、探针测试平台等高价值装备，同时存放光刻胶、有机溶剂等易燃工艺材料。芯片生产对环境管控标准极高，严禁水渍、粉尘、腐蚀性介质侵入；常规消防方案极易引发重大次生损失：水系灭火产生水汽，造成电路板短路、晶圆受潮报废；干粉、热气溶胶固体微粒堵塞高效过滤器、划伤硅片；高压二氧化碳喷放形成低温凝露，损伤光学镜头与真空腔体；普通化学灭火剂在高温火情下易裂解生成酸性物质，腐蚀精密元器件。芯片车间专属 IG100 高纯氮气洁净惰性气体灭火防护方案，依托纯物理窒息灭火机理，搭配洁净管路、精细化密闭封堵、精准泄压、层流适配喷头一体化施工，兼顾初期火情扑救、洁净环境稳定、昂贵设备无损防护，契合 GB50370、《洁净厂房设计规范》双重标准。

分享到：QQ空间新浪微博腾讯微博人人网微信

上一篇: 连云港医学检验实验室对洁净度要求高？高纯 IG100 氮气灭火系统

下一篇: IG541 灭火系统管网改动之后，是否需要重新试压